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美国ACM RESEARCH 单片清洗设备

产品/服务：
品 牌： ACM RESEARCH
有效期至： 长期有效
最后更新： 2024-10-15 14:03
单价：
面议
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(发货期限：自买家付款之日起 3 天内发货)
公司基本资料信息






  • 详细说明
  • 规格参数
 美国ACM RESEARCH  单片清洗设备
主要优势
清洗药液独立控制，无交叉污染
喷嘴精确控制系统
准确的化学药液供给
较低的使用成本
优质清洗效果
可应用不同种晶圆清洗工艺
高产出
对小颗粒的管控和金属管控能力
特性和规格
多可配置8套清洗腔体
多可配置5种药液进行清洗工艺，RCA药液，氢氟酸，臭氧水，去离子水等。
可对基板片，外延片的清洗工艺

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