提高抽速
与离子泵相比,每抽速1L/s的成本(包括控制设备成本)约为1/2至1/3。
轻巧紧凑
与相同抽速的离子泵相比,体积和重量减少到1/5到1/10。因此,它可以很容易地连接到泵系统/从泵系统移除,以在 小的空间内实现高抽速。 品牌: | ANELVA |
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