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德国dellmeco太阳能和半导体-SEMI DMS系列

产品/服务:
品 牌: dellmeco
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-02-19 17:32
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公司基本资料信息






  • 详细说明
  • 规格参数
 德国dellmeco太阳能和半导体-SEMI DMS系列
       SEMI DMS 系列中的 Dellmeco 泵专为半导体行业开发。DMS 泵的单独组装在 100 洁净室中进行;所有部件都在这里用去离子水进行双重清洁和测试。完成后,将它们双重密封在薄膜中。
  SEMI T 和 SEMI H 系列中与介质接触的所有部件均由 PTFE 和 TFM 制成。SEMI E 系列中与介质接触的所有部件均由 UPPE(超纯聚乙烯)制成。必须检查所有部件对介质的抵抗力。
  优势 览
  SEMI T、H 和 E 中没有金属成分
  没有弹性O形圈
  免润滑气动马达
  在 100 洁净室中进行组装、清洁和泵测试,并采用密封包装的双重包装
  耐用的 TFM 隔膜
  四种材料,适用于 大范围的应用。200℃
  由全材料制成,CNC 制造零件
  许多附件,如脉动阻尼器、泄漏监测等。
  与竞争对手的产品相比,组件减少了 40%
 
 

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