中图仪器光学3d表面轮廓测量仪SuperViewW1是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米*测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等*域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米*别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
性能参数
型号 W1
光源 白光LED
影像系统 1024×1024
干涉物镜
标配:10×
选配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光学ZOOM
标配:0.5×
选配:0.375×、0.75×、1×
标准视场 0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）
XY位移平台
尺寸
320×200㎜
移动范围 140×100㎜
负载 10kg
控制方式 电动
Z轴聚焦 行程 100㎜
控制方式 电动
形貌重复性 0.1nm
粗糙度RMS重复性 0.005nm
台阶测量
准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)
可测样品反射率 0.05%~100%
主机尺寸 700×606×920㎜
产品功能
1）光学3d表面轮廓测量仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供*键分析和多文件分析等辅助分析功能。
光学3d表面轮廓测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。
结果组成：
1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；
3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；
6、微电子表面分析和MEMS表征。
主要应用*域：
1、用于太阳能电池测量；
2、用于半导体晶圆测量；
3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；
4、用于机械部件的计量；
5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。
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