除了环境适应能力好,中图仪器sj6000激光干涉仪还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。
特点
1.精度高
中图仪器sj6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
2.功能广
可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
可实现龙门机床双轴同步测量;
可实现对机床回转轴的测量与校准;
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
支持手动或自动进行环境补偿。
3.软件强
友好的人机界面;
丰富的应用功能模块;
向导式的操作流程;
简洁化的记录管理;
支持中文、英文和俄文界面;
支持企业专属模板定制。